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进口卡套真空微型调节阀-美国罗伯逊ROBERTSON

进口卡套真空微型调节阀-美国罗伯逊ROBERTSON

本系列进口卡套式真空微型调节阀(亦称高精度微量针阀、微调阀)是一种用于真空系统中精确控制进气量的手动精密调节阀门。阀体采用精锻型整体不锈钢制造,结构紧凑、外形美观。通过细牙螺纹驱动精密锥形阀芯作无爬行直线运动,实现了对流量的高分辨率线性调节。连接端采用双卡套设计,可在无需焊接的情况下与钢管实现快速、紧固的密封连接,支持反复拆装。主要应用于向真空系统(如质谱仪、溅射镀膜装置等)中精确充气,通过控制进气流量来调节系统内的真空度,广泛应用于半导体、分析仪器、航天及真空镀膜等需要微量气流精密控制的领域。

产品特点
技术参数
可选配置

  • 高精度无级流量调节:采用长行程细牙精密螺纹与硬质合金细长锥形针式阀芯的传动结构,将手轮的旋转运动转换为阀芯的微米级线性位移,消除启闭死区,确保极小开度下气流也能平稳输出,实现从全闭到全开的平滑、可重复的流量调节

  • 极低泄漏率:阀体采用一体式精密锻造,轴封使用氟橡胶(FKM)O型圈密封,阀体可采用不锈钢焊接结构,漏率极小;真空专用设计使其满足超高真空系统的严苛要求

  • 坚固紧凑的卡套式连接:摒弃传统法兰螺栓连接,采用高强度双卡套密封机制。前卡套形成主密封,后卡套提供支撑和备用密封,可多次重复拆装,并能在高压和真空环境下提供耐压高、性能可靠的稳固密封。

  • 直观量化的精密控制:配备高分辨率刻度手轮或调节旋钮。在进行调节时,操作人员可精确记录特定流量点对应的旋钮位置,便于实验数据的复现和工艺配比的量化管理。

  • 宽泛的工况适应性:选用316L不锈钢和PCTFE/PEEK高性能密封材料,工作压力范围覆盖高真空(负压)至正压(最高可达约40MPa),适用温度范围覆盖-196℃深冷至+540℃高温,适用于包括气体和液体在内的多种流体介质,具备优良的耐腐蚀、耐磨损性能

  • 本体低逸散,保障系统清洁:卡套式接口和一体式阀杆密封结构,杜绝了螺纹润滑脂及密封剂挥发对真空腔体或高纯气体管路的污染,符合半导体及洁净制造领域的高标准要求。

参数项 常规参数
阀体材质 不锈钢 316L / 316SS / 304SS、哈氏合金、蒙乃尔合金、双相不锈钢等
密封材质 标配:氟橡胶 (FKM) O 型圈;可选:聚三氟氯乙烯 (PCTFE)、聚醚醚酮 (PEEK)、柔性石墨
接口规格 公制:2mm/3mm/4mm/6mm/8mm/10mm/12mm;英制:1/16” / 1/8” / 1/4” / 3/8” / 1/2”
通径范围 0.5mm ~ 2.0mm (0.020" ~ 0.078")
流量系数 (Cv) 0.024 ~ 0.09
泄漏率 ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s
工作压力 高真空 (10⁻⁸ Pa) ~ 正压,最高可达 40 MPa (约 6,000 psig)
介质温度 (标准型) -54℃ ~ +250℃
介质温度 (高温型) 最高可达 +540℃
连接形式 双卡套 / 单卡套、NPT/G/BSPT 内螺纹、对焊、承插焊
结构型式 直通型、角式、轴向调节型
驱动方式 手动 (带刻度手轮)、微调千分尺旋钮
调节类型 精密针型锥面线性调节
  • 防爆型配置:在防爆1区、2区等有特定防爆要求的石化及特殊气体管路应用,可选配防爆型执行机构及防爆接线盒,确保阀门在潜在危险环境下的安全运行。

  • 波纹管密封升级:阀杆可选用金属波纹管密封结构替代O型圈密封,实现阀杆处无填料绝对零泄漏,满足对泄漏率有极高要求的超高真空系统(UHV)及有毒有害介质管路需求。

  • 密封材料升级:根据介质化学兼容性及温度要求,可选用耐化学腐蚀的PTFE/PFA材料、低析出且抗磨损的PEEK阀座,或耐高温(+540℃)的柔性石墨密封材料,以适应腐蚀性气体、高温蒸汽或超高纯工艺的特殊需求。

  • 特殊材质升级:针对海水、氢氟酸、酸性油气等极度苛刻的环境,阀体材质可升级为耐晶间腐蚀的双相不锈钢(2205/2507)、耐全面腐蚀的哈氏合金C-276,或是耐氢氟酸侵蚀的蒙乃尔合金、钛合金等特种金属材料,并按需符合NACE MR0175/MR0103抗硫标准。

  • 高洁净度(UHP)配置:针对半导体特气输送等高纯应用,可进行严格的无油脱脂清洗处理,并在Class 100洁净室中完成洁净装配与双层洁净包装,有效防止金属颗粒物及碳氢化合物污染高纯介质。

  • 高分辨率微米级千分尺:在常规刻度手轮基础上,选配高分辨率微米级微分头作为驱动单元,可将阀芯位移精度提高一个数量级,尤其适用于高端分析仪器色谱柱载气控制和实验室高精度配气系统。

  • 高防护等级与防腐蚀处理:对于湿法清洗设备或海洋环境附近户外工况,执行器及阀体表面可升级至IP66/IP68防护等级,并配以防紫外线环氧树脂或重防腐涂层,适应沿海高盐雾和多尘沙的恶劣工况。

选型指引

  • 应用导向

    • 用于真空(高真空/超高真空)腔体的进气控制:必须选用可耐负压的真空针阀(真空微调阀),核心关注阀体的真空气密性及低漏率指标。

    • 用于实验室分析仪器(气相色谱、质谱)或半导体刻蚀(CVD/PVD):必须选用 高精度型,推荐配套高分辨率千分尺旋钮,以达到所需的精密调节和高重复性。

    • 用于正压油/水/气管路:推荐选用常规耐压型卡套针阀,重点考量额定工作压力是否满足系统要求。

  • 接口与安装

    • 需实现无泄漏密封且拆卸频繁:强烈推荐选择 双卡套接口 的连接形式,它结合了高强度与高密封性,并可实现灵活的现场免焊接安装。

  • 防爆标准匹配

    • 本安型(Ex ia) 防爆等级适用于Zone 0级别;Zone 1/21等爆炸性气体/粉尘环境必须选配 隔爆型(Ex d) 防爆执行机构,以满足防爆合规要求。

  • 耐腐蚀性与温度兼容性

    • 腐蚀性介质(海水/酸性气体):必须按选型材质指引升级阀体为耐腐蚀合金(如双相不锈钢、哈氏合金等),并符合NACE MR0175标准。

    • 温度范围:-54℃~+250℃适用标准FKM密封;超低温或超高温工况必须根据介质温度范围升级密封材料(PCTFE/-196℃至+80℃或石墨/-54℃至+540℃)。

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