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进口减压器-美国罗伯逊ROBERTSON

进口减压器-美国罗伯逊ROBERTSON

本系列进口减压器是一种将高压气源压力自动降低至稳定低压输出并保持恒定的自力式压力调节装置,主要由阀体、阀芯、调压弹簧、膜片(或活塞)及压力表等部件构成。当旋转调压手柄设定输出压力后,减压器利用膜片感知出口压力的变化,通过联动机构自动调节阀芯的开度——输出压力升高时阀芯开度减小,输出压力降低时阀芯开度增大,从而在进口压力波动或出口流量变化的情况下,将出口压力稳定维持在设定值上。产品包含单级式和双级式两大类型——单级式适用于一般工业气体及流量变化不大的场合,减压范围大但出口压力随瓶压下降略有漂移;双级式内置两级减压系统,第一级将高压气体降至中间压力,第二级进一步精确调节,即使钢瓶压力从高压下降至低压,出口压力仍能保持恒定,稳压精度显著优于单级减压器。产品广泛应用于实验室分析、半导体制造、工业切割焊接、制药、食品包装及气体汇流排等领域的钢瓶供气及中央供气系统中,适用于氮气、氧气、氩气、二氧化碳、氢气、乙炔、氨气及各类特种气体等多种介质的高效稳定减压供气。

产品特点
技术参数
可选配置

  • 精密稳压,确保输出压力稳定:采用高灵敏度膜片式或活塞式传感结构,对出口压力变化反应灵敏。双级式减压器在钢瓶压力从满瓶耗尽至末期的全过程中保持出口压力恒定,适合分析仪器、半导体工艺等高稳定性要求应用。Fisher 99型调压器可处理最高1000 psig/69.0 bar的入口压力,出口压力范围覆盖2in.w.c.至100psig/5mbar至6.9bar的九个区间,精度高、关断严密。Spectron FM53/FE53系列高控制精度,对外泄漏率≤10⁻⁸ mbar·l/s He,对内泄漏率≤10⁻⁶ mbar·l/s He,集成泄压阀,减压阀可抽真空

  • 宽压力等级覆盖,适应多样化应用:产品覆盖从低压(0.5bar)到超高压(300bar)的宽压力范围,最大进气压力可达300bar。GCE ProControl®系列单级进气压力最高300 bar,可选0-10/20/30/50 bar多级出气压力范围,完全满足多种工业气体的供气需求。Fisher 67D系列进口压力最高可达400 psig/27.6 bar,出口压力最高可达250 psi/17.2 bar,可选过滤器及内部泄压功能。美国NICO不锈钢减压器输入压力可达10,000 Psi,输出压力范围覆盖28"Hg Vac至400 PSI,Cv值0.06~6.5

  • 多种材质选择,适配腐蚀性及高纯气体:过流部件材质依据介质腐蚀性及洁净度要求灵活选配。黄铜阀体适用于氮气、氩气、压缩空气等无毒无腐蚀性气体,经济可靠;不锈钢316L阀体适用于氨气、硫化氢、硅烷等腐蚀性及高纯气体。美国捷锐U21系列高纯减压器采用316L及316L VAR不锈钢母体,不锈钢隔膜式结构金属硬密封,内部电解抛光处理,严格按SEMI要求制造,在Class 100无尘室组装测试包装,母体泄漏率1×10⁻⁶ atm cc/sec He,阀座泄漏率4×10⁻⁶ atm cc/sec He,适用于半导体制程的特种气体控制

  • 密封性能优异,确保洁净无泄漏:高纯减压器采用金属对金属硬密封设计,消除密封件气体析出风险;双级式配备集成过滤器与金属对金属密封,对外密封可靠。TESCOM™ 64-5400系列高纯度减压型调压器由经电解抛光的316不锈钢制造,具备10 Ra的表面光洁度,并采用Hastelloy®阀膜设计,膜片与阀体之间采用金属对金属设计,提供一流的密封性,Cv=1.0高流通能力,适用于大宗特种气体系统(BSGS)和气瓶柜

  • 符合国际标准设计制造,多重安全保护:产品设计制造严格遵循ISO 2503、ISO 5171、ISO 9536、GB/T 12244及ASME B16.34等国际标准,标配安全泄压阀防止下游超压,部分型号集成过滤器以防杂质进入阀芯。对于氧气介质须经严格的脱脂清洁处理,防止油脂残留引发的燃爆风险。

参数项 通用规格范围
产品结构 单级式(Single Stage)/ 双级式(Two Stage)
公称通径 DN4~DN50(常规1/4″~2″,气源处理型可达G1)
最大进气压力 20 bar~300 bar(依型号,工业高压型最高可达3,000/4,000/10,000 Psi)
出口压力范围 0.5 bar~50 bar(依弹簧范围配置,低压微压型可至mbar级)
适用介质 非腐蚀性气体(N₂、Ar、CO₂、空气等)/ 腐蚀性及高纯气体(NH₃、H₂S、SiH₄、高纯N₂/O₂等)
工作温度 -40℃~+74℃(依密封材质,扩展型可达-51℃~+149℃)
流量系数(Cv) 0.06~1.8(高流量型可达Cv=5/10/15/20)
材质组合 黄铜阀体 / 不锈钢316/316L/316L VAR/316L VIM-VAR(双熔炼)阀体
阀座材质 PCTFE、Vespel®、Teflon®PFA、PA、PU、PTFE、Viton®、PVDF
膜片材质 316L不锈钢、Hastelloy® C276、EPDM、NBR、丁基橡胶+PTFE涂层
密封件材质 金属对金属硬密封、FPM、PCTFE、EPDM、NBR、Nylon
入口连接形式 钢瓶接头(CGA标准、DIN、GB/T 15383)、Genlok®、FSR、NPT(M/F)
出口连接形式 NPT(M/F)、Genlok®、FSR、卡套接头、焊接接头
安装方式 面板式安装(标配安装螺母)、后座式安装、墙式安装、独立式安装
压力表接口 VSM4、G1/4″、G1/8″、1/4″NPT(螺纹接口或内置式压力表可选)
排气/溢流方式 带溢流口(标准型)、不带溢流口
过滤配置 集成不锈钢过滤器(部分型号)、外置过滤器
安全配置 内置泄压阀(标准型)、安全阀、过滤器、阻火器(可选附件)
设计标准 ISO 2503、ISO 5171、ISO 9536、ISO 9090、ISO 5145、SEMI(半导体级)
洁净等级 工业级(常规)/ 半导体级(Class 100/ISO 5无尘室组装、EP电解抛光、超纯水清洗、双层洁净包装)
氧气安全性 标准氧气清洁(BOC)/ 脱脂禁油(特殊需求),符合ASTM G93/CGA G-4.1要求
防爆等级(电控型) Ex d II BT4 / Ex d II CT4(ATEX、IECEx、GB 3836合规可选)
  • 防爆型整机配置:在石油化工、天然气处理、煤矿等爆炸性危险环境的供气系统中,可配置隔爆型或增安型防爆电气元件(防爆电磁阀、防爆接线盒、压力报警开关等)。防爆等级Ex d II BT4 / Ex d II CT4,整机符合ATEX 2014/34/EU指令、IECEx及GB 3836等防爆认证标准,适用于Zone 1/21及Zone 2/22爆炸性气体环境。

  • 智能监控与信号反馈系统:可选配高压/低压压力传感器及变送器,提供4-20mA模拟量信号输出至PLC/DCS系统,实现气源压力的远程实时监测与报警。可选配限位开关及回讯器,提供减压器开关状态的无源触点反馈信号,便于中控室远程掌控供气状况。高配智能型减压器可集成数据记录、压力趋势分析及故障预警等预测性维护功能。

  • 高纯/超高纯(UHP)洁净配置:针对半导体特气柜、MOCVD、外延工艺等超高纯应用,可选配超高纯配置。阀体材质采用316L VIM-VAR(双真空熔炼)不锈钢,内表面处理通过电解抛光(Electropolishing, EP)达到Ra ≤ 0.13 μm(5 μin)超高光洁度,膜片材质可升级为Hastelloy® C276高镍耐腐蚀合金,密封阀座选用PCTFE(聚三氟氯乙烯)、Vespel®(聚酰亚胺)或Teflon® PFA,对腐蚀和活泼性气体具备优异耐性。洁净装配在Class 10/Class 100无尘室中进行,经氦气泄漏测试和颗粒物检测、金属离子析出测试(NVR测试),包装为双层洁净包装,防微粒污染。TESCOM™ 64-3400系列双级超高纯度减压型调压器提供束缚阀膜设计,10 Ra微英寸表面光洁度及可选的Hastelloy®阀内件,进口压力3500 psig/241 bar,出口压力最高150 psig/10.3 bar,非常适合气瓶柜、半导体制造和研究实验室应用

  • 密封与阀座材料升级(工况精准选配) :根据介质温度、化学腐蚀性及洁净度要求,可灵活选配不同等级的密封与阀座材料——

    • PCTFE(聚三氟氯乙烯) :耐低温性能优异,适用温度-40℃至+60℃,适用于超低温深冷工况及LNG/液氮介质;

    • Vespel®(聚酰亚胺) :耐高温、耐磨损、低析出,适用温度-40℃至+300℃,适用于高温及严苛半导体工艺气体

    • PTFE/PFA:耐化学腐蚀性能极佳,适用-40℃至+200℃;

    • PA(聚酰胺/尼龙) :耐磨性好,适用于非腐蚀性工业气体;

    • PVDF(聚偏氟乙烯) :耐腐蚀、耐老化,适用于腐蚀性介质;

    • FPM/Viton®(氟橡胶) :耐高温、耐油、耐化学腐蚀,适用-20℃至+200℃。

  • 连接方式与接口标准定制:标准连接方式包括NPT内/外螺纹、Genlok®面密封接头、FSR接头、VCR®面密封接头、卡套接头、焊接接头、软管接头等。入口可依据气瓶类型定制CGA标准接头(CGA 580/590等)、DIN、GB/T 15383、JIS等钢瓶接头;过程接口可选用VCR、VCO、卡套管接头。减压器本体压力表接口标准为VSM4或G1/4″、G1/8″、1/4″NPT等螺纹规格,可选装内置式压力表或外置压力表接口。

  • 双级式减压结构升级:对于对出口压力稳定性有严格要求的分析仪器、色谱仪、半导体工艺气路,推荐选用双级式减压器(Two-Stage Pressure Regulator)。双级结构通过两级减压使出口压力不受钢瓶压力降低的影响,稳流稳压性能单级式优异。VPC7500系列双级减压器具有极低的供压影响效应,仅为0.06 psig/100 psig入口压力变化,特别适用于硅烷(SiH₄)、磷烷(PH₃)、砷烷(AsH₃)、乙硼烷(B₂H₆)等高值特种气体应用

  • 大流量型配置:针对集中供气系统、高耗气量工业切割或大流量工艺,可选配大流量型减压器,Cv值可达1.8至5.0/10/15/20。采用大通径阀体设计和低流阻流道结构,单级式减压结构专为大流量供气系统设计,满足高流量气体切割、工业过程控制、实验室检测等多种场合的流量需求。GCE VPK系列减压器进气压力可达200/3000 psi,出气压力可达20/300 psi,流量可达630标准立方米/小时,可用于工业过程和采矿里需要中大流量气体的应用

  • 氧气专用洁净配置:针对氧气介质(高压氧、医用氧、工业氧、液氧)及强氧化性气体,减压器必须进行严格的无油脱脂处理(ASTM G93、CGA G-4.1标准),阀体及内部件经超声波清洗和纯水漂洗,保证碳氢化合物残留低于限值。整机装配在洁净室环境中进行,使用专用禁油工具,并充氮气或氦气气密性检测。手柄、保护套等非金属部件亦须选用氧气兼容材料,确保在高压富氧环境下无燃爆风险。

  • 高防护等级及户外防腐蚀处理:配置电子仪表及信号接口的减压器,防护等级可升级至IP65 / IP67,配合防潮加热器、不锈钢铭牌及防腐蚀处理,适应沿海高湿高盐雾环境、多尘或户外无遮蔽等恶劣工况。

  • 伴热/保温型配置:在严寒地区户外供气、CO₂减压易出现干冰结晶堵塞或高压液化气体(CO₂、N₂O、C₂H₂、丙烷)在减压过程中因焦耳-汤姆逊效应过度降温导致冻结的工况,可配置电伴热带、保温夹套或减压器加热器(Heated Regulator),有效防止减压器结冰,保障严寒条件下的连续供气。

  • 配套附件选配

    • 阻火器:乙炔、氢气等易燃易爆气体管路须配置阻火器,防止回火引发爆炸;

    • 过滤装置(过滤器) :对于杂质较多的气源,在减压器前级加装烧结式过滤器(不锈钢材质,过滤精度5μm/25μm),防止杂质进入阀芯和密封面造成损伤;

    • 节气阀/针阀:在减压器出口加装节气阀,实现气体流量和压力精细调节;

    • 压力报警器:高纯气体和特种气体供气系统中,配置低压/高压报警器与电磁阀联动,实现远传信号和停气预警。

选型指引:

  • 常规工业气体焊接切割(乙炔/丙烷/氧气),推荐黄铜阀体单级式减压器,选配阻火器和回火防止器,气瓶接口按CGA标准选型;

  • 一般非腐蚀性气体(氮气/氩气/二氧化碳/氢气)供气系统,推荐黄铜阀体双级式减压器,出口压力稳定,不受瓶压下降影响;

  • 腐蚀性及高纯气体(氨气/氯化氢/硫化氢/硅烷/高纯氮氧),必须选用不锈钢316L阀体(金属硬密封+电解抛光阀体EP处理+无尘室组装),密封阀座推荐PCTFE(低温)或Vespel®/PFA(高温/腐蚀)。PTFE密封适用于工业级纯度、无特殊颗粒物限制的场合;

  • 半导体特气柜、超高纯工艺气体、MOCVD及外延设备,必须选用超高纯(UHP)减压器——316L VIM-VAR不锈钢阀体+EP电解抛光(Ra≤0.13μm)+束缚膜片+100级无尘室组装/测试/双层洁净包装,阀座选PCTFE、Vespel®或PFA,泄漏率≤1×10⁻⁹ atm cc/sec He;

  • 大宗气体中央供气管网(BSGS/VMB/VMP),选用大流量高纯减压器(Cv≥1.0/1.8/5.0),配置EP电解抛光及自动焊接端接口,阀体316L不锈钢;

  • 高压介质(钢瓶压力达300 bar/4,000 psi/10,000 psi),选用高强度锻造黄铜或不锈钢阀体,高压腔材料选高强度合金,确保安全性;

  • 液化石油气、丙烷等高压液化气体,减压器应配置加热装置(伴热带或恒温控制加热器)和过滤器(防杂质堵塞);

  • 液氮、液氩、LNG等深冷介质气化供气系统,减压器位于气化器之后,需选用低温适用密封材料(PCTFE),且减压器进口压力等级≤气化后压力(通常≤25MPa),过流部件须经耐低温处理;

  • 需实现远程自动化控制及气源系统集成(气站无人值守),推荐配置压力传感器及变送器(4-20mA)+低压/高压报警开关;爆炸性危险区域必须选配防爆型电气元件(Ex d II CT4/T6 + 防爆接线盒)

  • 氧气专用系统必须要求无油脱脂洁净处理O₂清洁(BOC),阀体材质推荐铜合金或不锈钢,手柄阀盖应选用阻燃防静电材料。

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