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进口超高真空插板阀-美国罗伯逊ROBERTSON

进口超高真空插板阀-美国罗伯逊ROBERTSON

美国罗伯逊(ROBERTSON)进口超高真空插板阀,是针对半导体制造、科研实验、真空镀膜、航空航天及高能物理等超高真空应用场景,自主研发的专用真空截止阀门。该产品通过手柄、电动装置或气动执行机构驱动阀杆,带动阀板作上下运动,实现阀门的开启或关闭,从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。依托美国罗伯逊(ROBERTSON)在真空阀门领域的技术积淀,本系列插板阀采用不锈钢波纹管及低放气率氟橡胶圈密封,阀体及主要内部构件选用优质不锈钢材料制造。美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀广泛应用于半导体制造设备、科研与实验真空系统、表面科学与分析仪器、真空镀膜设备、航空航天及高能物理等领域。

产品特点
技术参数
可选配置

  • 超高真空密封性能:美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀采用不锈钢波纹管及低放气率氟橡胶圈密封。轴封处采用不锈钢波纹管密封,阀板密封件采用氟橡胶。阀门漏率:DN≤200为≤1.3×10⁻⁷ Pa·L/s,DN≥250为≤6.7×10⁻⁷ Pa·L/s。适用范围覆盖10⁵ Pa至1.3×10⁻⁷ Pa

  • 平稳可靠的驱动机构:美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀的阀门移动采用双导轨轴承滚轮机构,运动平稳。阀门内整体板式结构,支撑力分布均匀,刚性好。阀门移动平稳,动作可靠,启闭灵活

  • 全不锈钢耐腐蚀结构:美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀的阀体及主要内部构件采用优质不锈钢材料制造。阀体成型采用新工艺,强度高,变形小。不锈钢内焊结构密封性好,体积小、重量轻、外形美观

  • 流阻小、流通量大:美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀内部通道设计合理,流阻小、流通量大。阀板在开启时完全退出流道,确保真空系统获得最大的有效通导。

  • 多种驱动方式灵活适配:美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀提供手动、电动和气动三种驱动方式。手动型通过手柄以螺杆传动推动钢球架运动实现启闭;电动型通过电动装置驱动阀杆带动阀板运动;气动型以压缩空气为动力,通过电磁换向阀改变气路方向驱动气缸活塞

  • 可烘烤除气与长寿命:美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀阀门烘烤温度可达≤150℃(除传动装置外)。适用于需要高温烘烤除气的超高真空工艺。开阀时阀板两侧压力差≤2.7×10³ Pa


参数项目 规格/范围
公称通径(DN) DN50 ~ DN1000
适用范围(Pa) 10⁵ ~ 1.3×10⁻⁷
阀门漏率(Pa·L/s) DN≤200:≤1.3×10⁻⁷;DN≥250:≤6.7×10⁻⁷
阀门烘烤温度(℃) ≤150(除传动装置外)
开阀时阀板两侧压力差(Pa) ≤2.7×10³
阀板密封件 氟橡胶
轴封处密封件 不锈钢波纹管
适用介质 洁净空气、非腐蚀性气体
阀体材质 不锈钢
电源电压(电动型) 标准:AC220V/50Hz;可选:AC110V、DC24V、DC12V等
信号反馈(电动型) 标准:不带反馈信号;可选:微动开关DC/AC 5~240V
安装位置 垂直或水平,不可倒装
法兰标准 GB/T 6071、JB/T 5278

注:美国罗伯逊(ROBERTSON)可依据具体真空系统的通径、驱动方式及密封要求,提供定制化选型及性能参数方案。

  • 驱动方式选配:美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀可根据操作与自动化要求选配手动、电动或气动三种驱动方式。手动型适用于简单操作或无需频繁启闭的场合;电动型适用于需要远程自动控制的场合;气动型适用于需要快速响应与洁净室应用的场合

  • 电源电压定制(电动型) :美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀的电动型标准出厂配置为AC220V/50Hz,可按用户要求定制AC110V、DC24V、DC12V等多种电压等级

  • 信号反馈装置(电动型) :美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀的电动型标准出厂不带反馈信号,可选配微动开关(DC/AC 5~240V)实现阀位开/关信号输出,接入PLC实现远程监控

  • 法兰连接标准定制:美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀可按用户要求配置不同法兰标准,包括GB/T 6071、JB/T 5278等。可按用户要求配置CF刀口法兰或ISO-KF法兰等接口型式

  • 密封结构选配:美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀的轴封有波纹管密封和氟橡胶密封两种可选。可根据真空度要求与烘烤温度要求选配不同的密封结构方案。

  • 手动应急操作装置:美国罗伯逊(ROBERTSON)超高真空插板阀可选配手动应急操作装置,在气源或电源故障时进行现场手动操作,确保紧急工况下的阀门可操作性。

  • 第三方性能见证测试:美国罗伯逊(ROBERTSON)可配合业主委托的第三方检验机构(如BV、DNV、SGS等)进行出厂前氦质谱检漏、密封性能测试、动作寿命测试及烘烤试验等见证测试,确保产品性能符合设计规范与合同要求。

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