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进口常闭型气动高真空挡板阀-美国罗伯逊ROBERTSON

进口常闭型气动高真空挡板阀-美国罗伯逊ROBERTSON

美国罗伯逊(ROBERTSON)进口常闭型气动高真空挡板阀,是针对真空镀膜、真空冶金、半导体制造、航空航天及科研实验等中高真空系统中需快速切断气流的工况,自主研发的专用气动真空阀门。该产品以压缩空气为动力,通过电磁换向阀改变气路方向,驱动气缸活塞带动阀杆与阀板作升降运动,实现阀门的开启或关闭。依托美国罗伯逊(ROBERTSON)在真空阀门领域的技术积淀,本系列挡板阀采用常闭型单作用设计,在失去电源或压缩空气时阀门自动关闭,确保真空系统安全。美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀分为GDQ-J型角通结构与GDQ-S型带预抽口三通结构两种型式,适用于空气及非腐蚀性气体介质,广泛应用于电子、化工、冶金、航天、材料、生物、原子能等高科技领域。

产品特点
技术参数
可选配置

  • 常闭型安全自保设计:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀采用常闭型单作用设计。当失去电源或压缩空气时,通径DN80以下的阀门依靠弹簧力自动关闭阀门,DN100以上的阀门通过电磁阀组利用单向阀迅速关闭气缸原有的气源压力,达到自动关闭阀门的目的。该设计可有效防止大气倒灌损坏真空腔体及工件,确保真空系统的安全性与可靠性。

  • 高真空密封性能优异:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀提供橡胶密封与波纹管密封两种轴封结构。波纹管密封采用金属波纹管隔离大气,漏率极低,可满足超高真空严苛要求。阀体流道光滑、无气体滞留死角。阀体和阀座漏率可达≤1.3×10⁻⁷ Pa·L/s,确保真空系统的高密封性。

  • 启闭迅速、动作可靠:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀采用气缸执行与电磁换向阀控制,启闭时间≤1秒。阀板下压压紧密封面即可切断真空管路气流,通气抬升阀板即可导通管路。阀门工作稳定可靠,可满足真空系统中快速切断或接通气流的需求

  • 结构坚固、材质优良:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀的阀体、阀盖、阀板等主要零件采用304不锈钢一体锻造,镜面抛光无死角。高挤压成型的一体式阀体使其具有高强度、高硬度、高耐腐蚀的性能。密封件可根据工况选用丁腈橡胶(NBR)或氟橡胶(FKM),适用温度范围覆盖-25℃至+150℃

  • 自动化适配性强:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀出厂标配电磁阀,可选配磁性开关输出阀位开/关信号,接入PLC实现远程自动控制。电源电压支持AC220V/50Hz标准配置及AC110V、DC24V、DC12V等定制选项。可选配防爆电磁阀,适用于易燃易爆工艺气体工况

  • 洁净耐高温、维护便捷:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀采用全不锈钢无油润滑结构,可整体高温烘烤除气,符合半导体、光学镀膜等高洁净标准。模块化分体结构设计使气缸与阀体可拆分,维护便捷

参数项目 橡胶轴封(GDQ-J) 波纹管轴封(GDQ-JB)
适用范围(Pa) 10⁵ ~ 1.3×10⁻⁴ 10⁵ ~ 1.3×10⁻⁷
阀门漏率(Pa·L/s) ≤1.3×10⁻⁵ ~ 1.3×10⁻⁶ ≤1.3×10⁻⁷
适用介质 空气及非腐蚀性气体 高纯气体、洁净真空环境
介质温度(℃) -25 ~ +80(丁腈橡胶)
-30 ~ +150(氟橡胶)
-25 ~ +150,可150℃高温烘烤除气
气源压力(MPa) 0.4 ~ 0.8 0.4 ~ 0.8
电源电压 标准:AC220V/50Hz;特殊:AC110V、DC24V、DC12V等 DC24V(常用)/ AC220V,防爆可选
信号反馈 标准出厂不带反馈信号;特殊指定:磁性开关DC/AC5~240V 可选配磁性开关
启闭时间 ≤1秒 ≤1秒
安装位置 DN<300任意,DN≥300垂直 任意角度安装
阀体材质 铝合金、碳钢或不锈钢 304不锈钢
密封件 丁腈橡胶、氟橡胶 氟橡胶、316L焊接波纹管
法兰标准 KF(GB4982)、活套法兰(GB/T6070、JB919) KF快拆法兰、CF刀口超高真空法兰
  • 轴封结构选配:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀可根据真空度要求选配橡胶密封或波纹管密封两种轴封结构。橡胶轴封成本低,适用于常规真空设备(10⁵~1.3×10⁻⁴ Pa);波纹管轴封采用金属波纹管隔离大气,漏率极低,适用于超高真空、半导体、镀膜等严苛工况(10⁵~1.3×10⁻⁷ Pa)。波纹管分液压波纹管和焊接波纹管两种可选

  • 结构型式选配:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀可按管路布局要求选配GDQ-J型角通结构(主流90°直角结构)或GDQ-S型带预抽口三通结构。角通式适用于一般真空管路截断;三通带预抽口型适用于需要预抽的真空系统

  • 信号反馈装置:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀可选配磁性开关(DC/AC 5~240V)实现阀位开/关信号输出,接入PLC实现远程自动控制。标准出厂配置不带反馈信号

  • 防爆型配置:针对石油化工等存在易燃易爆气体或粉尘环境的工况,美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀可提供防爆型配置,防爆等级可达Ex d II C T6,配备防爆电磁阀及相应防爆附件,符合相关防爆区域使用规范要求。

  • 电源电压定制:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀标准出厂配置为AC220V/50Hz。可按用户要求定制AC110V、DC24V、DC12V等多种电压等级,适配全球各类供电系统与自动化控制回路。

  • 气源处理元件:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀可选配气源处理元件装置。建议在阀前进气口加装油水分离器,以免气缸进水导致损坏

  • 法兰连接标准定制:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀可按用户要求配置不同法兰标准。小口径可选KF快拆法兰(GB4982);常规口径可选活套法兰(GB/T6070、JB919);超高真空工况可选CF刀口超高真空法兰。法兰标准涵盖GB4982、GB/T6070和JB919等

  • 手动应急操作装置:美国罗伯逊(ROBERTSON)常闭型气动高真空挡板阀可选配手动应急手轮,在气源或电源故障时进行现场手动操作,确保紧急工况下的阀门可操作性。

  • 第三方性能见证测试:美国罗伯逊(ROBERTSON)可配合业主委托的第三方检验机构(如BV、DNV、SGS等)进行出厂前氦质谱检漏、密封性能测试、动作寿命测试及耐压试验等见证测试,确保产品性能符合设计规范与合同要求。建议首次维修前循环次数可达200,000次

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