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进口电子行业用盐酸流量计-美国罗伯逊ROBERTSON

进口电子行业用盐酸流量计-美国罗伯逊ROBERTSON

进口电子行业用盐酸流量计是一系列专为半导体、平板显示、光伏及电子化学品制造等工艺中盐酸(HCl)介质测量而设计的高精度仪表。盐酸具有强挥发性和腐蚀性,尤其在电子级应用中浓度高、纯度高,对流量测量设备的耐腐蚀性、洁净度及可靠性提出了极高要求。 该系列产品依据不同工况,主要提供防腐电磁流量计与防腐科里奥利质量流量计两大解决方案。核心接液部件均针对盐酸特性进行专项优化,关键材质采用PTFE/PFA衬里与钽(Ta)或哈氏合金C(Hastelloy C)电极/测量管的组合。产品广泛应用于电子行业的湿法刻蚀、RCA清洗、晶圆表面处理、盐酸稀释配比、高纯盐酸输送及废酸回收等关键工艺环节。

产品特点
技术参数
可选配置

  • 优异的耐盐酸腐蚀性能:针对盐酸强腐蚀性进行材质优化电磁流量计标配PTFE/PFA衬里,搭配钽(Ta)电极(耐盐酸极佳的最佳选择)或哈氏合金C电极科里奥利质量流量计的测量管选用哈氏合金C-276钽材等顶级耐腐合金严禁使用304/316L不锈钢或碳钢材质,它们在盐酸中会迅速腐蚀

  • 测量不受流体物性影响:电磁流量计测量结果与流体压力、温度、密度、粘度等物理参数无关;科里奥利质量流量计直接测量质量流量,不受流体物性(如导电性、密度等)影响,精度极高

  • 高精度与多种输出:电磁流量计精度可达±0.2%~±0.5%;科里奥利质量流量计精度可达0.1级。支持4~20mARS485 (Modbus) 等标准信号输出,可无缝对接DCS控制系统

  • 智能诊断与稳定可靠:高端进口型号(如E+H Promag55、科隆OPTIFLUX4000)具备双频励磁在线自校验功能,确保低电导率稀酸测量的稳定性。科里奥利质量流量计无运动部件,抗腐蚀、免维护

  • 安装方式灵活:支持一体型或分体型结构。分体型设计适用于高温浓酸环境,可有效保护转换器电子部件


参数项目 防腐电磁流量计 防腐科里奥利质量流量计
测量原理 法拉第电磁感应定律 科里奥利效应
适用介质 导电盐酸溶液(浓度通常≤31%) 高精度要求或含少量固体颗粒/气泡的盐酸
测量变量 体积流量 质量流量、密度、温度
测量精度 ±0.2%~±0.5% 0.1级(±0.1%);部分品牌可达0.12%
公称通径 DN25~DN2000 多种规格可选
介质温度 -25℃~+180℃ -196℃~+400℃
最大工作压力 常规工业压力 最高可达882 bar
接液材质 衬里:PTFE、PFA、FEP
电极:钽(Ta)、哈氏合金C
测量管:哈氏合金C-276、钽材、SuperDuplex等
防护等级 视型号而定 视型号而定
输出信号 4~20mA、RS485 (Modbus) 4~20mA、脉冲等
供电电源 24V DC / 220V AC 24V DC

进口电子行业用盐酸流量计提供丰富的可选配置,以满足不同电子制造工艺和应用场景的个性化需求:

  • 测量原理选项:可根据测量精度要求、安装条件及预算,选配防腐电磁流量计(导电盐酸溶液的标准可靠方案)或防腐科里奥利质量流量计(最高精度,直接测质量流量,适用于高价值化学品计量或含杂质工况)。

  • 接液材质选项电磁流量计衬里可选用PTFEPFAFEP(耐腐蚀性依次增强,价格递增)电极可选用钽(Ta)(最佳选择)或哈氏合金C(Hastelloy C)科里奥利质量流量计的测量管可选用哈氏合金C-276钽材等多种顶级耐腐合金

  • 结构形式选项:可选一体型(结构紧凑)或分体型(转换器与传感器分离安装,适用于高温或观测不便的场合)

  • 过程连接方式:支持法兰连接(GB、ANSI、JIS、DIN、HG等标准)、螺纹连接卡箍连接(卫生型应用)等多种方式

  • 输出与通信协议:支持4~20mA脉冲/频率RS485 (Modbus) 等多种信号输出,可集成至各类控制系统

  • 防爆与防护等级:可根据现场危险区域要求提供相应防爆等级认证。

  • 特殊功能配置:可选智能仪表自校验功能,持续监测仪表健康状况。可选空管报警电极粘附检测等诊断功能。

如需了解更详细的产品选型信息,敬请咨询授权经销商或技术工程师。

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