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进口半导体专用阿牛巴流量计-美国罗伯逊ROBERTSON

进口半导体专用阿牛巴流量计-美国罗伯逊ROBERTSON

进口半导体用阿牛巴流量计是一款专为半导体及微电子制造领域大口径高纯气体、电子特气及超纯化学品流量测量设计的高精度差压式流量仪表。阿牛巴又称笛形均速管流量计,由美国于20世纪60年代末发明,是基于皮托管测速原理发展而来的差压式流量测量装置。该产品通过检测插入管道中的均速管探头迎流面与背流面之间的平均压差,依据伯努利方程精确计算流体平均流速与体积流量。 针对半导体行业对超高纯度、极低颗粒污染及极高可靠性的严苛要求,进口半导体用阿牛巴流量计采用高纯度不锈钢及特殊表面处理工艺,全金属密封结构确保测量过程中无颗粒脱落、无介质污染。产品采用获得专利的T形传感器设计,传感器滞止区可有效降低噪音、减小测量误差并避免颗粒堵塞。产品可广泛应用于半导体工厂特种气体输送、大宗气体(氮气、氧气、氩气、氢气等)流量监测、工艺冷却循环及尾气处理等大口径管道流量测量环节。

产品特点
技术参数
可选配置


测量精度高,性能稳定可靠:进口半导体用阿牛巴流量计采用多点取压孔设计,迎流面的多对测压孔精确测量各单元面积内的平均总压,背流面中心取压孔测量静压,通过平均压差准确反映管道截面平均流速。产品测量精度可达±0.2%~±1.0%,重复性达±0.1%。经过多代技术演进(从第一代圆形截面到第三代T形传感器),小流量时流量系数不稳定的问题已得到有效解决

极低压损,节能显著:阿牛巴流量计对流体产生的阻力极小,压损仅占差压的2%~15%,相比孔板流量计压损降低超80%。这一特性对半导体工厂大宗气体输送系统尤为重要——极低的永久压损可大幅减少输送能耗,符合半导体制造绿色节能的运行要求

材质纯净,杜绝污染风险:产品采用316/316L不锈钢、合金C-276等高纯材料,过程接液部件经精密加工与电抛光处理。全金属密封结构无密封圈设计,可进行重复密封,确保超高纯净度,满足半导体行业对金属离子污染与颗粒脱落的零容忍要求。

防堵设计,适应高纯气体测量:T形传感器具有平坦的迎流截面,提供固定分流点,静流区可降低噪音、减小测量误差并避免颗粒堵塞。传感器设计可在管道中保持较小的截面积,通过开槽取压的方式获得流量和压力测量值。这一防堵特性对于半导体高纯气体及电子特气测量尤为关键,可显著降低维护频次。

直管段要求短,安装灵活:阿牛巴流量计直管段需求短(前5D后2D),安装仅需焊接连接件并垂直插入管道中心线。插入式结构适用于大口径管道,特别适合半导体工厂复杂紧凑的管路布局。产品支持在线安装与拆卸(配备闸阀时可不停车操作),大幅降低安装与维护成本

宽量程比,适应多工况测量:量程比高达150:1(流量量程比8:1~14:1),可在较大流量变化范围内保持高精度测量,适应半导体生产中不同工况下的流量监测需求

智能诊断,运维高效:产品配备基础诊断、过程警报、回路完整性诊断及导压管阻塞诊断功能,能够检测出电气回路问题及导压管阻塞,避免影响过程质量。可选图形背光显示屏及Bluetooth®无线连接,无需物理连接即可轻松完成维护与调试工作


参数项目 技术指标
测量原理 差压式 / 均速管(皮托管测速原理)
适用介质 高纯气体、电子特气、大宗气体(N₂、O₂、Ar、H₂等)、超纯水、超纯化学品
测量精度 ±0.2%~±1.0%(依据具体型号)
重复性 ±0.1%
量程比 体积流量:10:1~150:1(依据具体型号)
适用管径 DN20~DN12000(插入式:DN500~DN5000)
介质温度范围 -50℃~+650℃(标准型);高温型可达815℃
最大工作压力 均速管无提出功能型:≤20MPa;可提出型:≤10MPa;特殊型最高可达40MPa
触液部件材质 316/316L不锈钢(标准);合金C-276、合金800H等(可选)
信号输出 差压信号(需配套差压变送器与流量积算仪)
通信协议(可选) 4-20mA HART®、WirelessHART®、FOUNDATION™现场总线、PROFIBUS® PA
过程连接 螺纹连接 / 法兰连接(ANSI B16.5等标准)
安装方式 插入式(在线可拔出型)
直管段要求 前5D后2D
质保 长达5年有限质保(依据具体型号)


进口半导体用阿牛巴流量计为满足半导体行业多样化应用场景与严苛工艺要求,提供以下可选配置方案:

1. 传感器结构选型

  • 第三代T形传感器:获得专利的T形设计,具有平坦迎流截面与固定分流点,可在更宽流量范围内实现高性能测量

  • 标准圆形/菱形传感器:适用于常规工况测量

  • 双向测量型:对称传感器设计,支持反向流量测量

2. 材质与表面处理

  • 标准材质:316/316L不锈钢

  • 特殊材质:合金C-276、合金800H等耐腐蚀材料

  • 表面处理:电抛光、超纯水冲洗等半导体级表面处理方案

3. 通信与输出协议

  • 标准:4-20mA HART®协议

  • 可选WirelessHART®技术,数据可靠性>99%,无需布线即可快速安装

  • 可选FOUNDATION™现场总线、PROFIBUS® PA

  • 可选1-5V低功耗HART®

4. 安装连接方式

  • 螺纹连接(Flo-Tap螺纹组件)

  • 法兰连接(ANSI B16.5标准,最高2500#)

  • Pak-Lok快速安装组件

5. 诊断与显示功能

  • 基础诊断、过程警报、回路完整性诊断

  • 导压管阻塞诊断,检测导压管阻塞避免影响过程质量

  • 图形背光显示屏,支持多语言操作

  • Bluetooth®无线连接,无需物理连接即可维护调试

6. 安全认证

  • SIL 2/3认证,符合IEC 61508(经第三方认证)

  • NACE®认证(适用于腐蚀性介质测量)

7. 特殊定制

  • 高温型配置:过程温度最高可达815℃

  • 高压型配置:工作压力最高可达40MPa

  • 防堵型配置:开槽取压设计,避免颗粒堵塞

  • 无线型配置:WirelessHART®技术,内置SmartPower模块最长无故障运行10年


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