进口半导体用质量流量计是一款专为半导体及微电子制造领域高纯气体、电子特气及超纯化学品流量精密测量与控制设计的高精度质量流量仪表。该产品基于热式质量流量测量原理或科里奥利测量原理，直接测量流体的质量流量，无需温度与压力补偿即可输出稳定、准确的流量数据。 产品核心传感元件采用先进的MEMS半导体传感器技术或精密振动管结构。其中，热式质量流量计通过测量气体流动对加热元件的冷却效应计算流量；科里奥利质量流量计则利用流体在振动管中产生的科里奥利力所引起的相位差进行测量，可同步输出质量流量、密度与温度等多参数信息。针对半导体行业对超高纯度、极低颗粒污染及极高可靠性的严苛要求，产品采用全金属密封结构、电抛光接液部件及洁净室组装工艺，确保测量过程中无颗粒脱落、无介质污染。产品可广泛应用于化学气相沉积（CVD、MOCVD、PECVD）、原子层沉积（ALD）、刻蚀工艺、晶圆清洗与干燥、离子注入及电子特气输送等半导体制造关键环节。
直接质量流量测量，精度卓越：进口半导体用质量流量计直接测量质量流量，无需温度、压力补偿即可输出稳定数据。热式质量流量计精度可达±0.5%读数，科里奥利质量流量计精度最高可达±0.1%。重复性优异，超过24小时变化小于0.1%。
材质纯净，杜绝污染风险：产品采用全金属密封结构，无密封圈设计，可进行重复密封。接液部件经电抛光处理，可选4µ或10µ英寸Ra表面光洁度。全部在洁净室中完成组装，确保超高纯净度，满足半导体行业对金属离子污染与颗粒脱落的零容忍要求。
响应迅速，适配动态工艺：响应时间可短至10毫秒以内，质量流量控制器稳定时间低至300毫秒至1秒。毫秒级响应能力使产品能够实时跟踪流速的快速变化，完美适配半导体工艺中频繁的动态调整需求。
多气体/多量程功能，灵活高效：部分型号内置多气体/多量程功能（如MultiFlo™技术），一台设备即可支持数千种气体类型与量程组合的切换。无需将仪表从气体管路中移除即可完成气体类型或量程的重新设定，大幅提升工艺灵活性与设备利用率。
宽量程比，覆盖微流量至大流量：量程比可达100:1至1000:1。可测量低至0.12 sccm的微小流量，也可覆盖高达300 slpm的大流量，适应半导体制造从研发到量产的全流程需求。
智能诊断与多种通信协议：产品标配自诊断功能，可实时监测传感器状态、阀芯状态等故障代码。可选RS232、RS485（Modbus）、DeviceNet™、PROFIBUS DP、EtherCAT®、PROFINET及FLOW-BUS等多种数字通信协议，可与DCS/PLC控制系统无缝集成。
